اچینگ یا حکاکی شیمیایی (Etching) فرایندی شیمیایی در میکروساخت است که برای حذف لایه‌هایی از سطح ویفرها مورد استفاده قرار می‌گیرد. اچینگ یک فرایند فوق حیاتی در ساخت ویفرهاست و هر ویفر قبل از آماده شدن چندین مرتبه «اچ» می‌شود. اچینگ در حقیقت نوعی فرایند لایه برداری دقیق به کمک مواد شیمیایی خورنده است. فهرست مطالب: تعریف فرآیند اچینگ یا زدایش استفاده از فتورزیست اصول کلی مزایا و معایب قابل گزینش بودن بایاس و حالت های ایزوترپیک و غیر ایزوتروپیک تکنولوژی و محیط اچینگ اچینگ مرطوب اچینگ غیر ایزوتروپیک اچینگ پلاسما مواد مورد استفاده در میکروالکترونیک و خورنده مورد نیاز برای اچینگ آنها و… …
دیدگاه های شما